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热蒸发镀碳仪
是一种常用的薄膜制备设备，广泛应用于半导体、光电子、能源和环保等领域。它利用高温使固体材料蒸发，并在基片上形成均匀的薄膜。本文将详细介绍热蒸发镀碳仪的工作步骤。
s先，打开热蒸发镀碳仪的电源，预热设备至工作温度。这一步骤非常重要，因为只有在达到工作温度后，才能保证固体材料的正常蒸发。
其次，将待镀物质放入蒸发源中。这些物质通常是固态的，如金属、合金或化合物。在放入蒸发源之前，需要对这些物质进行严格的清洗和处理，以确保在蒸发过程中不会引入杂质。
然后，将基片放置在蒸发源下方的样品台上。基片可以是各种材料制成的，如硅、玻璃、陶瓷等。在放置基片时，需要确保其表面平整、干净，并且与蒸发源之间的距离适中。
接下来，开始加热蒸发源。加热的方式可以是电阻加热、电子束加热或激光加热等。加热的目的是使蒸发源中的待镀物质迅速蒸发，形成气体。
当蒸发源中的待镀物质开始蒸发时，会产生一团炽热的气体云。这团气体云中含有大量的待镀物质原子或分子。
随后，通过控制设备的工作参数，如蒸发速率、蒸发源与基片之间的距离、气体云的温度和压力等，可以调控待镀物质在基片上的沉积过程。这一步骤是整个热蒸发镀碳过程中z关键的部分，因为它直接影响到薄膜的质量。
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热蒸发镀碳仪